Mikroskopia sił elektrostatycznych (z ang. EFM - Electrostatic Force Microscopy) - tryb pracy mikroskopu typu
SPM
, obrazuje lokalne rozmieszczenie
ładunku elektrycznego
, w konsekwencji także pole elektrostatyczne nad próbką. Między sondą a próbką wytwarza się różnicę potencjałów, sonda przesuwa się nad badaną powierzchnią nie dotykając jej. W chwili gdy sonda znajdzie się nad obszarem naładowanym, dźwigienka ugina się, a odbicie od niej pod innym kątem promienia
lasera
rejestrowane jest przez
fotodetektor
. EFM stosowane jest np. do próbkowania napięcia układu elektronicznego, najczęściej do testowania aktywnych
mikroprocesorów
.
